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光学电子洁净工程光学电子洁净工程,也称为洁净室工程,是一种为了满足对空气质量和微尘清洁度要求比较高的领域而开展的工程。光学电子洁净工程的产品主要集中在光学及电子领域,例如微电子芯片、半导体器件、光学仪器等。 在洁净工程中,主要的工作就是将室内的尘埃、细微尘粒、异味及其他粒子物质排除、抑制到流净化之下,以致满足工艺工程的要求。 为了保持房间内尘埃含量在一定的范围以保证以下工作的准确性:
光学电子洁净工程一般包括以下内容:
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